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第14章 星火一号光源测试上（第1页）

7月1日，庐州九州半导体芯片生产基地，此时已经有众多科研工作者已经严阵以待，等待着某个时间的到来，今天是基地内重要的日子。

而此种大事，身为九州集团的大老板的张林也是早早的带着秘书赵莉影来到了此处。

上午九点，在隔离罩后面的张林一声“开机”令下，经过多轮检测的星火一号光源正式开机测试，没有轰轰烈烈，只有房间内的安静伴随着众人的紧张与忐忑。

安全防护的房间内，众多的科研实验人员在星火一号的光源启动之后，开始了紧张的忙碌。

光源能启动只是芯片基地这次测试最简单的第一步，最重要的是看第二步，光源能否产生稳定合适波长的光线，这才是今天最重要的一步，如果这个星火一号的光源没有办法产生稳定合适波长的光线，那它就是失败的。

失败了不可怕，如果能通过修改设计来达成目的也是可以的，怕的是这条线路是行不通的，这条捷径是错误的，到时公司在这里投入的上百亿美元都将会打水漂，那个损失是任何一个公司都无法承受的。

虽然张林的钱和大风刮来的差不了多少，但是这明面上的钱还是需要珍惜的。

此时的张林和在场的科研人员也是紧张万分。

好在这个基地根据张林他给的技术和设想没有浪费。

在经过一段紧张的调试之后，配套先期建设好的两条芯片生产线也是顺利的接收到了光源产生的稳定合适波长的光。

“张董，我们成功了......”

这是包括喻子真、程星海、张如京、蒋尚意等九州半导体众多高层此时内心的真实写照。

而早晨赶过来的大米的雷总看着眼前欢呼的九州集团的科研人员，则是陷入沉思，思考着。

在欢呼过后，众多科研人员继续投入实验，张林则是带着张如京和蒋尚意陪着徽省的高官们视察这个芯片生产基地。

今天这次芯片基地的光源开机实验，不仅庐州的书记和市长来了，徽省的书记和省长也来了，这么一个大大的政绩露脸的机会，还是在7月1日这个时间，要是不来支持一下，就太说不过去。

等下次芯片基地开机生产芯片的时候可就轮不到他们露脸了，到时最起码也得是打巅峰赛的7人中最少也会来一个人，以示鼓励，甚至大长老都有可能过来。

能自主生产当前国际上最先进的芯片，这个代表的是什么意义，作为一省的最高长官，没有一个人是糊涂的，就看他愿不愿承认罢了。

所以这次不抓紧更待何时。

“张董，这个成就了不起，了不起的成就啊。要是国内的企业都像九州集团这样，致力于科技的研发，国内何愁发展不起来。

可惜国内像九州集团这样的公司还是太少了，太多的公司习惯了过安稳日子。”徽省的书记赞赏道，“张董，不知道半导体基地的下一步芯片试生产什么时候举行？能不能赶在国庆节之前试生产出芯片？”

“赶在国庆节前生产出芯片”，张林听到徽省书记的话，瞬间便反应过来，知道徽省书记话中的意思，无非是为了国庆献礼。

九州半导体的芯片生产基地坐落在庐州，是徽省管辖，于情于理为徽省在国庆节露一次脸争些面子也是分内之事，“县官不如现管”，芯片半导体基地的发展离不开徽省的支持，合则两利，更何况也是顺道的事情。

“星火一号芯片试生产现在定了两个时间，一个是下个月的25日，一个是9月20日，至于是选择哪个时间，就要看光源和光刻机的调试什么时候可以结束了。

毕竟这是九州半导体第一次生产芯片，需要慎重点，不能打了科研工作人员的信心。”张林解释道，同时这两个时间也是他和张如京、蒋尚意等人商议后共同定下的。

现在芯片生产基地已经可以看到胜利的曙光了，九州半导体现在已经不是求快，而是求稳，稳中求胜。

走了一会张林问道：“张书记，不知道给芯片生产基地配套的水、电、特气化学品、超纯水等供应能不能按时供应？

特气化学品、超纯水等还能从别的地方采购，但是水电可没有办法从别的地方采购，只能靠徽省为我们解决。

虽然我们这个芯片生产基地和传统的芯片光刻机不同，能量利用效率更高，但是再怎么改也改不了它是一个耗电的大户，光源产生的光全是靠电力驱动的，而且芯片生产还需要超纯水、稀有气体等，如果没有充足的能源和资源供应，到时芯片基地建好，也只沦为摆设。”

星火一号的光源直径是500米，光源周围有两座有已经建好的无尘车间，但更多的还是正在建设的各种国际标准ISo4级或ISo5级顶级的无尘车间正在建设，一个光源有20条生产线，建成之后，这里将会是徽省的一个耗电大户，真正的电老虎。

同时这个芯片生产基地采用的是和ASmL于2010年也就是今年推出的EUV光刻机NxE：3100同样的路子。

ASmL的EUV光刻机机台得“光线”经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到2%的光线，能量浪费严重，一台光刻机一天使用下来，最少也得需要上万度的电能。

然而，一条芯片生产线上可不仅仅只有一台光刻机这么简单。

实际上，一条芯片生产线它是由大约十余台不同型号的光刻机共同构成的，此外还有大量的高温氧化退火设备、化学气相沉积（cVd）设备、涂胶去胶设备、刻蚀设备、离子注入设备、物理气相沉积设备、研磨抛光设备、清洗设备、检测设备等等。

如此多的设备，其耗电量可想而知。

尽管九州半导体的这个芯片生产基地摒弃了传统的“一台光刻机对应一个光源”的设计模式，并采用了更为节能的稳态微聚束光源技术，大大降低了能源消耗。

根据研发团队的介绍，这种新技术能够将光线利用率提升至50%以上，如果未来能实现20条生产线全面投产，光线的利用率甚至有望超过90%。

不过，这只是光刻机一项带来的改进，其他设备所需的电能并没有因此而减少。

每年耗费百亿度电是最少的，能直接把庐州的全年累计用电量提升一个大大的台阶。如果再加上给芯片半导体基地建设配套的那些工厂，简直是无法想象.......

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