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第一阶段:技术预研与团队组建许志远首先意识到,光刻机的研发需要一支专业的团队,而目前研究所内的技术人员虽然有一定基础,但对于这么高精尖的设备,仍然显得经验不足。他决定从以下几个方向入手:从全国范围内筛选顶尖的光学、机械、材料学、控制工程领域的专家。组建跨学科研发小组,分工明确,包括光源研发组、光学系统组、掩模版设计组、机械控制组、化学处理组等。邀请高校的科研力量参与,例如龙国科学院、清华大学等顶尖学府中的专家教授。“一个人再聪明,也搞不定光刻机这种技术怪兽。”许志远心里明白,团队协作是关键。第二阶段:光刻机的核心技术攻关根据系统提供的资料,许志远将光刻机的关键技术分为以下几个模块,并提出了每个模块的攻关目标:光源系统:使用193纳米深紫外(duv)光源作为第一代光刻机的核心光源。攻克高功率激光器的设计难点,确保光源的稳定性和高能量输出。高效率的光束整形系统,保证光线均匀分布。光学投影系统:引进超高精度的光学镜片,要求达到亚纳米级的加工精度。研发多层反射镜技术,提高光线的利用率和成像精度。机械控制系统:设计高精度的步进扫描平台,确保硅片移动误差低于1纳米。开发全新的伺服控制系统,实现实时动态校准。掩模版与化学处理:制造高精度的掩模版,确保芯片电路图案的完整性。研发新型光刻胶和蚀刻液,保证图案转移的清晰度和稳定性。第三阶段:样机制造与测试样机设计:基于攻克的核心技术,设计并制造第一代光刻机原型机。硅片加工测试:通过样机对硅片进行光刻测试,评估电路刻蚀的精度和良率。优化迭代:根据测试结果,不断优化光源、镜片、掩模版等核心部件,提升设备的性能和稳定性。第四阶段:量产与工业化推广量产计划:在第一代光刻机样机通过测试后,制定量产计划,确保设备能够满足龙国工业化需求。技术封装:对核心技术进行加密,防止国外势力窃取技术成果。人才培养:通过研发过程,培养一批掌握光刻机技术的人才,为下一代设备研发奠定基础。许志远看着自己写满了三大张纸的研发计划,心中满是斗志。他深知光刻机的研发道路注定坎坷,但他也清楚,这条路一旦踏上,等待他的将是前所未有的成就。“90纳米制程工艺虽然不是顶尖,但它是我们追赶世界的一步!”许志远喃喃自语,眼神坚定。……许志远在工业部的会议室里,面对着几十位官员和技术专家,郑重其事地将光刻机研发的提案摆在了桌上。他的语气坚定,眼神中满是对未来的渴望:“同志们,光刻机的研发是我们的当务之急!它不仅是芯片制造的核心设备,更是未来工业化、现代化的基石。如果我们现在不开始研发,将永远受制于人!”话音刚落,会议室陷入了一阵短暂的沉默,随后爆发出低低的议论声。许多官员和技术人员面面相觑,表情各异。有的满脸疑惑,有的则眉头紧锁,显然对许志远的提案感到难以理解。很快,一名穿着灰色中山装的老官员站了起来,语气里带着些许不满:“许志远同志,我能不能问一句——你说的这个‘光刻机’,到底是个什么东西?你刚才提到的什么芯片、集成电路,我听着就像是天书。咱们现在这工业化刚起步,连机床、拖拉机都造不利索,你搞这个高科技的玩意儿,是不是有点太超前了?”另一个官员也跟着点头附和:“老李说得没错!我们现在的重点是解决基本民生问题,能吃饱饭、有衣穿、能用上简单的工业设备,这才是头等大事。许志远同志,你这个提案,说得好听是挺先进,可咱们国家现在的生产力……你觉得有这个能力折腾这些东西吗?”这话一出,会议室里不少人都低声议论起来,不少人眼神里带着疑惑和不信任。坐在角落里的外贸部副部长张国辉推了推眼镜,冷笑了一声:“许志远同志,我不是打击你,但你这个提案确实有点离谱了。你知道光刻机研发需要多少资金吗?需要多少资源?据我所知,国外那些资本主义国家为了搞芯片,每年投入的经费高达数亿美元!我们现在外汇储备都捉襟见肘,工业体系还在摸索阶段,哪有这个余力去搞这些‘高精尖’的东西?”他顿了顿,语气变得更加尖刻:“更何况,我听说过芯片这种东西。没错,它在一些高精密领域可能确实有用,但那是资本主义国家的玩意儿,咱们有必要跟着人家屁股后头学吗?咱们现在的拖拉机、机床技术都还差得远,直接跨到这一步,太不切实际了吧!”这时候,一名轻工业部的年轻干部也忍不住发言了:“我也同意张部长的看法。许志远同志,我完全理解你想为国家做贡献的心情,但你可能没有意识到,咱们国家现在连最基础的工业设备都不能完全自主生产。你知道吗?就拿我们轻工业来说,一台缝纫机的零件都需要从国外进口。我们连这些最基本的东西都搞不好,怎么可能去搞什么光刻机?”旁边的几位专家也开始低声讨论起来,其中一位年纪较长的技术专家忍不住站了起来,语气中带着一丝无奈:“许志远同志,你是搞技术的,我们都知道你厉害。但你刚才说的什么‘芯片’、‘光刻机’,实在是太抽象了。你也知道,咱们现在的工业基础还很薄弱,连高精度的机床都做不出来,别说芯片了。再说了,就算我们搞出来了,这东西能干嘛?在战场上能用?能造武器?能帮农民增加粮食产量吗?”:()四合院:悟性逆天,七级工程师
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